清除空氣中的水分、二氧化碳和乙炔的方法最常用的是吸附法和凍結法。

吸附法就是用硅膠或分子篩等作吸附劑，把空氣中所含的水分、二氧化碳和乙炔，以及液空、液氧中的乙炔等雜質分離出來，濃聚在吸附劑的表面上(沒有化學反應)，加溫再生時再把它們趕掉，從而達到凈化的目的。例如設置干燥器、二氧化碳吸附器、液空吸附器、液氧吸附器。

凍結法就是空氣流經蓄冷器或切換式換熱器時把其中所含的水分和二氧化碳凍結下來(乙炔不能凍結)，然后被干燥的返流氣體帶出裝置，即自清除。

在高壓、中壓、高低壓制氧系統(tǒng)上，曾用堿洗法清除二氧化碳，即用氫氧化鈉(Na0H)的水溶液吸收空氣中的二氧化碳。由于操作不便，目前已被淘汰。

采用分子篩凈化流程可用分子篩同時吸附清除空氣中的水分、二氧化碳和乙炔，使流程簡化，已在制氧機上普遍地被采用。