內(nèi)壓縮空分流程是指液體產(chǎn)品在冷箱內(nèi)通過(guò)液體泵加壓后獲取壓力，再經(jīng)過(guò)高壓換熱器復(fù)熱送出冷箱的一種流程形式。內(nèi)壓縮流程的工作壓力一般都超出氧、氮的臨界點(diǎn)，液體在超臨界狀態(tài)下進(jìn)行換熱是內(nèi)壓縮流程的一大特點(diǎn)，而在精餾過(guò)程中，由于產(chǎn)品種類及獲取方式的差異，導(dǎo)致塔內(nèi)設(shè)備的物料進(jìn)出口與外壓縮流程有很大差別。在內(nèi)壓縮空分流程中，氧氣的壓力不受限制，氮?dú)猱a(chǎn)量較大可達(dá)到氧氣產(chǎn)量的2.8倍，氬氣的提取率可以達(dá)到85%左右。

內(nèi)壓縮空分流程一般由內(nèi)壓縮系統(tǒng)、空氣預(yù)冷系統(tǒng)、分子篩純化系統(tǒng)、精餾系統(tǒng)、產(chǎn)品壓縮系統(tǒng)和貯存與汽化系統(tǒng)組成,其流程形式一般有三種：空氣增壓?jiǎn)伪昧鞒?；空氣增壓雙泵流程；氮?dú)庋h(huán)單泵流程。

1、空氣增壓?jiǎn)伪昧鞒蹋菏侵钢?、高壓氧?nèi)壓縮，中、高壓氮外壓縮，壓力氮?dú)庀滤槿?，低壓氮?dú)馍纤槿　?/p>

2、空氣增壓雙泵流程：是指中、高壓氧氣和中、高壓氮?dú)饩鶠閮?nèi)壓縮，壓力氮?dú)庀滤槿。蛪旱獨(dú)馍纤槿　?/p>

3、氮?dú)庋h(huán)單泵流程：是指中、高壓氧內(nèi)壓縮，中高壓氮為外壓縮，壓力氮?dú)庀滤槿?，低壓氮?dú)馍纤槿?，循環(huán)氮壓機(jī)與產(chǎn)品壓縮機(jī)合二為一。