氬氣凈化回收裝置屬于氬氣空分設備是將本來直接排放于大氣的含各種雜質(zhì)的氬氣（回收壓力略高于大氣壓）通過初級過濾粉塵及反吹回收裝置、精密二級過濾，由壓縮機增壓，冷凍干燥機脫水，除氧劑除氧、干燥設備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質(zhì)，全自動氬氣回收凈化系統(tǒng)高純氬氣回收提純設備得到純度極高的氬氣，最后經(jīng)貴金屬精密過濾器送至工作點使用。氬氣空分設備可用來降低生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，提高經(jīng)濟效益。