電子級(jí)氣體大型空分設(shè)備是用于分離和純化空氣中各組分，以制取高純度電子氣體的關(guān)鍵設(shè)備。該設(shè)備通過壓縮、冷卻、液化空氣，并利用各組分沸點(diǎn)的差異進(jìn)行精餾分離，最終得到符合電子工業(yè)要求的氧氣、氮?dú)狻鍤獾葰怏w。這些氣體在半導(dǎo)體制造、電子材料生產(chǎn)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。電子級(jí)氣體大型空分設(shè)備具有產(chǎn)量大、產(chǎn)品純度高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，是空分設(shè)備行業(yè)的重要發(fā)展方向之一。